Theo Cục Di sản văn hóa, vào khoảng những năm 1642-1674, chùa được các quý tộc triều Lê cho dựng lại, với quy mô rất lớn, theo kiểu trăm gian và có mặt bằng kiến trúc kiểu nội công ngoại quốc.
Ở các giai đoạn sau, chùa được tu sửa nhỏ nhiều lần, nhưng về cơ bản kiến trúc hiện nay chủ yếu của thế kỷ thứ XVII, gồm các hạng mục: tam quan, gác chuông, tiền đường, thiêu hương, thượng điện, tích thiện am, nhà trung, phủ thờ, hậu đường và hai dãy hành lang ở hai bên.
Năm 2013, chùa được xếp hạng di tích quốc gia đặc biệt.
